首先來說說它的用途：光切法顯微鏡以光切法和觀察機械制造中零件加工表面的微觀幾何形狀，在不破壞表面的條件下，測出截面輪廓的微觀不平度和溝糟寬度的實際尺寸。此外，還可以測量表面上個別位置的加工痕跡和破損。

該顯微鏡適用于測量Δ3~Δ9級表面光潔度，但只能對外表面進行測定。

用該儀器除對金屬表面進行測定外，亦可對如紙張，木材和人工材料等進行測量。